在真空紫外光譜區—200nm以短波長區進行測量時，所用的輻射源與其它區域不同。常用氫（氘）燈（165nm以短），氙燈（150～200nm），氬弧燈（330～110nm），無窗氙弧燈（58～110nm）。所用探測器除了對短波敏感的光子探測器以外，還可以使用照相乳劑。
在單色儀的光路布置中，簡單的是垂直入射裝置。它應用了一塊自聚焦的凹面光柵，無需輔助的光學器件。稱為瀨谷浪岡裝置的光路使入身光束和出射光束在圓弧上保持固定的角度70°15′。在真空紫外區僅產生少量散焦。麥克沸生（McPherson）的光學系布置采用了不尋常的結構。在它的交叉光學系統中采用了0.3m焦距的非球面反光鏡，系統的有效孔徑比為f/5.3。這一設計使它具有高通量而且焦距短。它既保持了垂直入射共焦點的特性，又有較寬的狹縫入射角。在波長105nm以下時，必須采用掠入射原理。光柵在羅蘭圓上移動，出射狹縫在圓周上變動位置。入射角范圍為82°～88°。
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